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经营范围
发明名称
EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号
KR100492476(B1)
申请公布日期
2005.06.03
申请号
KR20020039264
申请日期
2002.07.08
申请人
发明人
分类号
H01L21/027;G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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