发明名称
摘要
申请公布号 JP2005516388(A) 申请公布日期 2005.06.02
申请号 JP20030562963 申请日期 2002.11.19
申请人 发明人
分类号 H01J37/32;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/306 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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