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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine anodisch mit Silizium bondbare Glas-Keramik (LTCC) und deren Verwendung zum anodischen Bonden mit Silizium anzugeben, wobei vermittels anodischen Bondens bei 400 DEG C eine Silizium-Wafer zu einem ebenen großflächigen Silizium-LTCC-Verbund vereint werden soll. DOLLAR A Diese Aufgabe wird bei einer Glas-Keramik (LTCC) mit den Bestandteilen Al¶2¶O¶3¶, Borosilikatglas, Kieselglas und/oder Cordierit, dadurch gelöst, dass ein Borosilikatglas mit einem Na-Gehalt in der Größenordnung von 2,6 Masse-% und einem thermischen Ausdehnungskoeffizienten alpha in der Größenordnung von 3,4 ppm/K eingesetzt ist und die Ausgangszusammensetzung der Glaskeramik besteht aus: DOLLAR A 60-70 Masse-% Borosilikatglas DOLLAR A 10-20 Masse-% Al¶2¶O¶3¶ DOLLAR A 8-25 Masse-% Cordierit und/oder Kieselglas, DOLLAR A so dass der Na-Gehalt, bezogen auf den kompletten Werkstoff >= 1,5 Masse-% beträgt und diese Ausgangszusammensetzung in einem an sich üblichen keramischen Verfahren geformt und gesintert worden ist und einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten in der Größenordnung von alpha = 3,50-3,65 ppm/K und eine Dielektrizitätskonstante epsilon zwischen 5-6 aufweist. DOLLAR A Die Erfindung ist bei der Herstellung mikroelektronischer Schaltungen anwendbar.
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