| 发明名称 |
METHOD FOR CONTROLLING THE HERMETICITY OF A CLOSED CAVITY OFA MICROMETRIC COMPONENT, AND MICROMETRIC COMPONENT FOR THE IMPLEMENTATION THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CA2546810(A1) |
申请公布日期 |
2005.06.02 |
| 申请号 |
CA20042546810 |
申请日期 |
2004.11.08 |
| 申请人 |
ASULAB S.A. |
发明人 |
GUEISSAZ, FRANCOIS;RANDIN, JEAN-PAUL |
| 分类号 |
B81C99/00;B81B7/00;G01M3/02;G01M3/04;G01M3/38;G01M3/40;H01L23/00;H01L23/10;H01L23/20;H01L23/26 |
主分类号 |
B81C99/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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