| 发明名称 |
METHOD FOR SUPPLY OF CONSTANT-CONCENTRATION OZONATED WATER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20050052329(A) |
申请公布日期 |
2005.06.02 |
| 申请号 |
KR20040075867 |
申请日期 |
2004.09.22 |
| 申请人 |
SILTRONIC AG |
发明人 |
HAIBARA TERUO;UEMURA KENICHI;ADACHI TAKIO;SHIMOI YOUICHI |
| 分类号 |
B08B7/00;C01B13/10;C02F1/00;C02F1/78;H01L21/304;(IPC1-7):G05D11/08;G05D7/00 |
主分类号 |
B08B7/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
