发明名称 A METHOD FOR EXPOSING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050052102(A) 申请公布日期 2005.06.02
申请号 KR20030085953 申请日期 2003.11.29
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 BAE, SANG MAN
分类号 H01L21/027;G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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