ARRANGEMENT AND METHOD FOR THE SUPPRESSION OF SPECKLE STRUCTURES OF A PULSED LASER BEAM

摘要

Anordnung zur Unterdrückung von Speckle-Strukturen eines gepulsten, zur Materialbearbeitung verwendeten Laserstrahls (1) in einer Bearbeitungsebene (7), wobei die Anordnung Strahlteilermittel (2) zur Aufteilung des Laserstrahles (1) in zwei Teilstrahlen (3, 4) sowie Strahlvereinigungsmittel (6) zur Zusammenführung der beiden Teilstrahlen (3, 4) umfasst, wobei die Anordnung derart gestaltet ist, dass einer der beiden Teilstrahlen (3, 4) zwischen den Strahlteilermitteln (2) und den Strahlvereinigungsmitteln (6) eine derartige Phasenverschiebung erfährt, dass bei Überlagerung der Teilstrahlen (3, 4) in der Bearbeitungsebene (7) keine Speckle-Strukturen entstehen oder dass bei Überlagerung der Teilstrahlen (3, 4) in der Bearbeitungsebene (7) Speckle-Strukturen einer vorgegebenen Form und/oder Größe entstehen. Weiterhin betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Unterdrückung von Speckle-Strukturen.