光阻剥离用组成物及其剥离方法

摘要

为提供一种光阻剥离用组成物，其能够以高性能去除光阻，并能防止腐蚀金属配线材料，且在剥离后用水清洗时不会发生杂质析出而再附着于基板等。本发明之光阻剥离用组成物，系含有碳酸乙烯酯、碳酸丙烯酯、γ–丁内酯、1,3–二羟基–2–丙酮或1价或2价羧酸与具有羟基之1级或2级有机胺之反应物，视需要可含有机胺、水溶性有机溶剂及／或水。093132885-p01.bmp