栅极装置

摘要

本案为一种栅极装置，系设于溅镀系统之溅镀枪(Sputter)与被镀物之间，其特征在于栅极装置系电连接至电压源而具有电压准位，且允许带电离子通过，并藉以调整带电离子撞击被镀物之速度。