辐射刻蚀设备用之吸嘴

摘要

一种辐射刻蚀设备用之吸嘴，其系应用于制造有机发光面板的辐射刻蚀设备中，且包括一辐射光束(radiationbeam)通道、以及至少一残渣(debris)通道。辐射光束通道系贯穿吸嘴，并具有一辐射光束出口，而残渣通道系与辐射光束通道独立而设，并具有至少一邻设于辐射光束出口之残渣吸入口。