含氟聚合性环状烯烃化合物

摘要

本发明系提供对波长200nm以下，特别是波长160nm以下放射线之透明性、及对乾蚀刻之耐蚀刻性优、且其疏水性受抑制显像特性良好，适合作为光阻材料之基础树脂原料用之新颖的含氟聚合性环状烯烃化合物。其特征为具有1个以上具以下一般式(1)或(2)所示部份构造之含氟聚合性环状烯烃化合物。093127414-p01.bmp