铈盐、其制造方法、氧化铈及铈系研磨剂

摘要

一种铈盐，其系在6当量浓度的硝酸12.5g与30％的过氧化氢水12.5g的混合液里，当溶解20g时，溶液中存在的不溶成分的浓度与溶解前的铈盐的质量比为5ppm以下的铈盐，以及把铈盐加以高温处理后的氧化铈。另外，藉由减少包含在氧化铈粒子及其原料铈盐粒子中的不纯物数量，并进行高纯度化处理，就能够在采用含氧化铈粒子的铈系研磨剂进行研磨时，减少研磨面上被产生的擦痕。