光阻组成物

摘要

本发明系以含有，(A)成份为以下述一般式(1)表示之聚醚酯、(B)成份为具有阴离子性基之硷可溶性树脂或其改性物为特征之光阻组成物。093130888-p01.bmp(式中，RCO为由碳数6～22之脂肪酸去除羟基的残基，；X为由具有至少三个羟基之多醇去除羟基的残基；AO及AO’为碳数2～4之氧伸烷基；a为0或1以上之数；b为1以上之数；m及n为1以上之数；但，m及n之合计，与上述多醇的羟基之数相等。)