半调式光罩

摘要

一种制造多阶透射率半调式相位移光罩(HTPSM)的方法及其材质，此光罩包括具有不同透射率之区域的多数个图案，用以缩小一或多个线末端短缩、孤立区至密集区以及边缘区至密集区之线宽偏差。此光罩系利用至少一半调式材质，以形成具有不同透射率之图案。此些图案可以是由单一之半调式材质所构成，且在不同之区域内具有不同之厚度。或是由两种半调式结构所构成，并以单层或双层结构应用于不同之区域内。