制造微机电系统静电夹头之方法

摘要

本发明系关于一种为一多极静电夹头形成一钳止平板的方法。该方法包括于一半导体平台上形成一第一导电层，并且于该第一导电层中界定复数个彼此电隔离的部份。于该第一导电层之上形成一第一电绝缘层，该第一电绝缘层包括一具有复数个微机电系统(MEMS)突出部的顶表面，该等突出部会从该处延伸一第一距离。另外，还会有复数个极区被电连接至该第一导电层之该等个别的复数个部份，其中，被施加于该等复数个极区之间的电压可运作用以于该钳止平板之中诱发一静电作用力。