曝光装置及曝光方法、以及元件制造方法

摘要

由投影光学系统PL射入液体LQ之曝光用光当中，射入光透过部44之曝光用光，以不通过气体中的方式射入并会聚于光学构件41。曝光装置，即使投影光学系统的数值孔径增大亦能接收来自投影光学系统之曝光用光，而能进行各种测量。