具单匝射频(RF)平板线圈之电感耦合电浆系统

摘要

本案为一种具单匝射频(RF)平板线圈之电感耦合电浆(ICP)系统，包含：一电感耦合电浆系统；以及一单匝射频(RF)平板线圈，系设于该电感耦合电浆系统之一电浆产生部，藉以产生一对称分布之电浆，其中该单匝射频(RF)平板线圈系为一环带导体，该环带导体系绕于该电浆产生部。