高密度电浆化学气相沈积制程

摘要

一种高密度电浆化学气相沈积制程，此系进行多数个沈积步骤，以形成一材料层。其中，在进行这些沈积步骤时，系使用多数个射频电源来执行，且在各个沈积步骤之间会先进行关闭步骤以关闭这些射频电源，再进行启动步骤以重新启动这些射频电源。由于在各个沈积步骤之间系依序进行关闭步骤以及启动步骤，因此可以避免因各个沈积步骤之制程参数不同，而导致电浆不稳定的问题。