处理装置及方法

摘要

一种用于透过氮氧化处理以形成绝缘膜于欲处理之基板的表面上之处理方法包含下列步骤：藉照射含氮原子之电浆于该基板上而氮化该基板之表面；以及藉照射含氧原子之电浆以氧化已被氮化之该基板之该表面。