基板组合装置及其组合方法

摘要

本发明系与一种应用重力与压力差原理有关之基板组合装置与组合方法，该基板组合装置包括：一内部压力受一闸门操控之真空室；一利用真空吸附以置放基板于该真空室内侧顶部之上基座板；及，一设于该真空室内侧底部且其上表面施作一种密封材料用以固定基板之下基座板，又，该上基座板设有一可令基板掉落之基板落下装置。