| 主权项 |
1.一种光学检测系统,用以检测一物件上之一缺陷,该光学检测系统包含:一影像处理单元,包含:复数个感光耦合元件(CCD),用以取得该物件之一全面影像;以及复数个影像处理板,包含复数个处理器以及复数个记忆体,其中每一影像处理板包含至少一记忆体以及至少一处理器,并且每一影像处理板对应连接一感光耦合元件,其中该复数个记忆体可提供一高容量影像记忆空间,以供记忆该全面影像,并且该复数个处理器可执行一高速度影像处理程序,以供对该全面影像执行一数位信号处理作业;以及一显示器,与该影像处理单元电性连接,用以显示该影像处理单元执行该数位信号处理作业过后之该全面影像以及有关之缺陷资料,以供进一步进行一缺陷评估作业。2.如申请专利范围第1项所述之光学检测系统,其中该物件为一LCD显示器基板、一PDP显示器基板、一有机电激发光(Organic EL)显示器基板、一彩色滤镜基板、一晶圆或一玻璃基板。3.如申请专利范围第2项所述之光学检测系统,进一步包含一滙流排,并且该显示器以及该影像处理单元系电性连接至该滙流排。4.如申请专利范围第3项所述之光学检测系统,进一步包含一中央处理单元,该中央处理单元系电性连接至该滙流排,用以将该影像处理单元产生之一资讯藉由一网路传送至一缺陷情报管理系统。5.如申请专利范围第4项所述之光学检测系统,进一步包含一电脑数値控制(CNC)单元,该CNC单元系电性连接至该滙流排,并且该CNC单元包含:一XY轴平台,用以搬送该物件;以及一检视镜头,用以检视并确认该物件上之该缺陷。6.如申请专利范围第5项所述之光学检测系统,进一步包含一输入/输出(I/O)介面,用以进行一外部控制作业。7.如申请专利范围第6项所述之光学检测系统,其中该滙流排为一VME-BUS。图式简单说明:图1为依据本创作之一实施例之光学检测系统之系统架构图。图2为依据本创作之一实施例之显示器显示一全面影像之状态图。图3为依据本创作之一实施例之显示器显示复数个全面影像及其相关缺陷资料之状态度。 |
