藉由氧监测之即时闸极蚀刻临界尺寸控制

摘要

本发明揭露出一种在蚀刻室中控制蚀刻气体浓度的制程与装置。将蚀刻气体浓度与惰性气体浓度决定并将后者浓度使用来使蚀刻气体浓度正规化。将该正规化值与预定参考值互相比较，并相应地控制流入室内的蚀刻气体。