发明名称 | 光罩 | ||
摘要 | 一种光罩,此光罩包括一形成在基底上的图案层。此图案层具有多个开口,且与各个开口对应的基底中各具有一凹陷,这一些凹陷的上周缘系与所对应的开口的下周缘重叠。 | ||
申请公布号 | TW200518180 | 申请公布日期 | 2005.06.01 |
申请号 | TW092132866 | 申请日期 | 2003.11.24 |
申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 洪文田;林金隆;杨春晖 |
分类号 | H01L21/027;G03F1/14 | 主分类号 | H01L21/027 |
代理机构 | 代理人 | 詹铭文;萧锡清 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 |