发明名称 光罩
摘要 一种光罩,此光罩包括一形成在基底上的图案层。此图案层具有多个开口,且与各个开口对应的基底中各具有一凹陷,这一些凹陷的上周缘系与所对应的开口的下周缘重叠。
申请公布号 TW200518180 申请公布日期 2005.06.01
申请号 TW092132866 申请日期 2003.11.24
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 洪文田;林金隆;杨春晖
分类号 H01L21/027;G03F1/14 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人 詹铭文;萧锡清
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号