液晶显示器之制造方法

摘要

一种液晶显示器之制造方法系先在一基板上定义第一导体层之图型，亦即形成一闸极组合体，其包括闸极垫、扫描线及闸极。依序沈积绝缘层、半导体层、掺杂半导体层及第二导体层于基板与上述之闸极组合体上。将一光阻层覆盖于第二导体层上，再利用半调光罩或狭缝图型的方式使像素开口区内光阻层完全曝光，而闸极垫及闸极上方仍有部分厚度之光阻层未完全曝光，进而形成有部分厚度相异之光阻图型。在经过多道乾湿式蚀刻后，于开口区之所有沈积层可被完全蚀刻而移除，但闸垫及闸极上方之沈积层会被蚀刻到半导体层而停止。接着，将一有机绝缘层覆盖于基板与上述之结构上，并在有机绝缘层上定义出供透明导电层与金属层导通的通孔。再采乾蚀刻使闸垫藉由闸垫上方之通孔而露出，最后于有机绝缘层表面及复数个通孔处定义一透明导电层之图型。