发明名称 Surface recovery of contaminated deposition tools
摘要
申请公布号 EP1382708(A3) 申请公布日期 2005.06.01
申请号 EP20030394061 申请日期 2003.07.02
申请人 OMC SCIENTIFIC RESEARCH LIMITED 发明人 DILLON, PATRICK;COMERFORD, THOMAS;O'MAHONY, JOSEPH PATRICK;MCMEEL, JOHN;GIBBONS, RICHARD
分类号 C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56;B08B3/04;B08B3/14;C23C16/44 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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