| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITER-DÜNNSCHICHT MIT EINER CHEMISCHEN GASPHASEN-BESCHICHTUNGSANLAGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69233359(T2) |
申请公布日期 |
2005.06.02 |
| 申请号 |
DE1992633359T |
申请日期 |
1992.07.14 |
| 申请人 |
SEIKO EPSON CORP., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
MIYASAKA, MITSUTOSHI |
| 分类号 |
C23C16/44;H01L21/205;H01L21/336;(IPC1-7):C23C16/44;C23C16/54;C23C16/24 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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