Mehrstrahliges Mikro-Bearbeitungssystem und Verfahren

摘要

Es werden ein System und ein Verfahren zur Abgabe von Energie auf ein Substrat vorgeschlagen. Es ist eine dynamisch steuerbare und ausrichtbare Strahlungsenergiequelle vorgesehen, welche eine Mehrzahl von Strahlungsstrahlen erzeugt, die sich jeweils in dynamisch wählbare Richtungen ausbreiten. Eine Anzahl unabhängig positionierbarer Strahlsteuerelemente in einer Strahlsteuerelementanordnung empfängt die Strahlen und richtet sie auf wählbare Orte auf dem Substrat. Eine Anzahl von Laserstrahl-Fokussierungsmodulen ist der Anzahl von Laserstrahl-Steuermodulen zugeordnet, um jeden Strahl auf das Substrat zu fokussieren.