| 发明名称 |
CHEMICAL MECHANICAL POLISHING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050050872(A) |
申请公布日期 |
2005.06.01 |
| 申请号 |
KR20030084521 |
申请日期 |
2003.11.26 |
| 申请人 |
DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. |
发明人 |
KIM, HWAL PYO |
| 分类号 |
H01L21/304;B24B37/04;B24D7/14;B24D13/14;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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