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发明名称 NEUTRAL PARTICLE BEAM PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20050051195(A) 申请公布日期 2005.06.01
申请号 KR20030084946 申请日期 2003.11.27
申请人 LEE, HAG JOO;SEMTECHNOLOGY CO., LTD. 发明人 LEE, BONG JU;YOO, SUK JAE;LEE, HAG JOO
分类号 H05H3/06;H01J37/32;H05H3/02;(IPC1-7):H05H3/06 主分类号 H05H3/06
代理机构 代理人
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