发明名称 Alignment of trench for MOS
摘要
申请公布号 GB0508407(D0) 申请公布日期 2005.06.01
申请号 GB20050008407 申请日期 2005.04.26
申请人 AMI SEMICONDUCTOR BELGIUM BVBA 发明人
分类号 H01L21/336;H01L29/06;H01L29/40;H01L29/417;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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