发明名称 铌酸锂基板及其制造方法
摘要 本发明提供一种利用由佐科拉尔斯基法培育成的铌酸锂结晶,制造铌酸锂基板的方法,其特征在于,在将铌酸锂结晶,埋入到由Al、Ti、Si、Ca、Mg、C构成的组中选择出来的至少一种元素构成的粉末中的状态下,或者,容纳到由Al、Ti、Si、Ca、Mg、C构成的组中选择出来的至少一种元素构成的容器中的状态下,在300℃及其以上、不足于500℃的温度下,进行热处理。
申请公布号 CN1621578A 申请公布日期 2005.06.01
申请号 CN200410095073.X 申请日期 2004.11.23
申请人 住友金属矿山株式会社 发明人 梶谷富男;角田隆
分类号 C30B29/30;H01L41/02;H01L41/22;H03H9/02;C01G33/00 主分类号 C30B29/30
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人 经志强;潘培坤
主权项 1、一种铌酸锂基板,其特征在于,该铌酸锂基板具有热过程,该热过程为,在埋入到由Al、Ti、Si、Ca、Mg、C构成的组中选择出来的至少一种元素构成的粉末中的状态下,或者,在容纳到由Al、Ti、Si、Ca、Mg、C构成的组中选择出来的至少一种元素构成的容器中的状态下,在300℃及其以上、不足于500℃的温度下,进行热处理。
地址 日本东京都