溅射靶、溅射反应器、形成铸锭及形成金属体的方法

摘要

本发明包括一种形成金属体的方法。制备具有原始厚度的金属材料锭，对该金属锭进行热锻压。对热锻压后的产品进行淬火，使金属材料的平均晶粒尺寸固定在小于250微米。淬火后的材料用于形成三维物理气相沉积靶。本发明还包括一种形成铸锭的方法。在一特定方面，该铸锭是高纯度铜材料。本发明还包括物理气相沉积靶和磁控管等离子溅射反应器组件。

主权项

1.一种形成金属体的方法，包括：制备金属材料锭，所述金属锭具有大于250微米的原始晶粒尺寸和原始厚度；在大约700°F到大约1100°F的温度及足够的压力和时间等条件下对所述金属锭进行热锻压，使所述金属锭的厚度减少到原始厚度的大约10％到60％，所述热锻压使所述金属锭成为热锻压产品；对所述热锻压产品进行淬火，将所述金属材料的平均晶粒尺寸固定在小于250微米，淬火后的材料成为金属体；