| 发明名称 | 金属用研磨液及研磨方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供金属用研磨液及研磨方法，该金属用研磨液含有(1)金属的氧化剂，(2)氧化金属溶解剂，(3)通过在金属膜表面形成物理吸附和/或化学结合而形成称为氨基酸或唑类的保护膜的第1保护膜形成剂、(4)辅助第1保护膜形成剂形成称为聚丙烯酸、聚酰胺酸或者其盐的第2保护膜形成剂，以及(5)水。 | ||
| 申请公布号 | CN1204602C | 申请公布日期 | 2005.06.01 |
| 申请号 | CN99812776.0 | 申请日期 | 1999.08.31 |
| 申请人 | 日立化成工业株式会社;株式会社日立制作所 | 发明人 | 内田刚;星野铁哉;上方康雄;寺崎裕树;松泽纯;本间喜夫;近藤诚一 |
| 分类号 | H01L21/304;H01L21/308;C23F1/16 | 主分类号 | H01L21/304 |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郝庆芬 |
| 主权项 | 1.一种金属用研磨液，其含有：氧化剂、氧化金属溶解剂、第1保护膜形成剂，其是选自氨、胺、氨基酸、亚胺、唑、硫醇及糖类中的至少一种、第2保护膜形成剂，其是选自具有醇性或者酚性羟基的化合物、酯、醚、多糖类、氨基酸盐、聚羧酸、聚羧酸盐、乙烯基系聚合物、酰胺、偶氮化合物及钼化合物中的至少一种、及水。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||