光－机械式微梁阵列热型红外图象传感器

摘要

一种用于获取并转换红外信号的光－机械式微梁阵列热型红外图象传感器，包括按阵列分布的微梁单元，微梁单元中包含热变形机构和红外吸收板，热变形机构为两组且对称连接于红外吸收板的两侧，本实用新型的关键在于：整个微梁单元为侧向支撑的无底单层平面结构；热变形机构由热隔离梁和变形梁构成折转式分布；红外吸收板与变形梁连接，支撑梁与热隔离梁连接；每组热变形机构由至少一根热隔离梁和至少一根变形梁组成；所述的微梁单元采用顺序平铺的方式构成阵列。本实用新型不仅工艺实现简单，而且器件不发生粘连、不容易失效和破坏，对器件的真空度要求也大幅降低。无硅衬底部分反射红外线，更多的能量直接到达探测单元，使探测更灵敏。

主权项

1、一种用于获取并转换红外信号的光-机械式微梁阵列热型红外图象传感器，包括按阵列分布的微梁单元，微梁单元中包含热变形机构和红外吸收板，热变形机构为两组且对称连接于红外吸收板的两侧，其特征在于：整个微梁单元为侧向支撑的无底单层平面结构；热变形机构由热隔离梁和变形梁构成折转式分布；红外吸收板与热变形机构连接，热变形机构与支撑梁连接；每组热变形机构由至少一根热隔离梁和至少一根变形梁组成；所述的微梁单元采用顺序平铺的方式构成阵列。