发明名称 SEMICONDUCTOR MEMORY WITH VERTICAL MEMORY TRANSISTORS AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 EP1535345(A1) 申请公布日期 2005.06.01
申请号 EP20030747922 申请日期 2003.08.21
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 HOFMANN, FRANZ;LANDGRAF, ERHARD;LUYKEN, RICHARD, JOHANNES;SCHULZ, THOMAS;SPECHT, MICHAEL
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/792;H01L27/115 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址