发明名称 金属高能X射线聚焦组合透镜
摘要 本发明涉及金属高能X射线聚焦组合透镜,它包含有衬底(1)、电铸阴极薄膜(2)、金属透镜阵列(3)、空气隙(4)。电铸阴极薄膜(2)位于衬底(1)的上方并与衬底(1)接触,金属透镜阵列(3)位于电铸阴极薄膜(2)的上方并与电铸阴极薄膜(2)接触,由衬底(1)、电铸阴极薄膜(2)、金属透镜阵列(3)共同构成空气隙(4)。衬底(1)选用硅片或玻璃或金属材料,电铸阴极薄膜(2)选用铜或钛或镍或金或氧化钛材料,金属透镜阵列(3)选用铝或铬或钛或铝铜合金。具有组合透镜折射单元的中心厚度尺寸小、同轴度高、尺寸精度高,表面粗糙度低,易于批量制作和集成的优点。
申请公布号 CN1204566C 申请公布日期 2005.06.01
申请号 CN02148417.1 申请日期 2002.11.29
申请人 浙江工业大学 发明人 乐孜纯;梁静秋
分类号 G21K1/00;H01J29/60 主分类号 G21K1/00
代理机构 杭州天正专利事务所有限公司 代理人 王兵;袁木棋
主权项 1.金属高能X射线聚焦组合透镜,包含有空气隙(4),其特征是由衬底(1)、电铸阴极薄膜(2)、金属透镜阵列(3)所组成,电铸阴极薄膜(2)位于衬底(1)的上方并与衬底(1)接触,金属透镜阵列(3)位于电铸阴极薄膜(2)的上方并与电铸阴极薄膜(2)接触,由衬底(1)、电铸阴极薄膜(2)、金属透镜阵列(3)共同构成空气隙(4),其中衬底(1)选用硅片或玻璃或金属材料,电铸阴极薄膜(2)选用铜或钛或镍或金或氧化钛材料,金属透镜阵列(3)选用铝或铬或钛或铝铜合金。
地址 310014浙江省杭州市下城区朝晖六区