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发明名称 VALVE APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR FABRICATION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR20050051238(A) 申请公布日期 2005.06.01
申请号 KR20030084997 申请日期 2003.11.27
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 JANG, BYUNG HO
分类号 (IPC1-7):H01L21/00 主分类号 (IPC1-7):H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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