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发明名称 METHOD FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING (CMP) OF LOW-K DIELECTRIC MATERIALS
摘要
申请公布号 EP1534795(A2) 申请公布日期 2005.06.01
申请号 EP20030740859 申请日期 2003.05.26
申请人 CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 发明人 MOEGGENBORG, K.J.;CHOU, H.;HAWKINS, J.D.;CHAMBERLAIN, J.P.
分类号 B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/3105;H01L21/312;H01L21/321;(IPC1-7):C09G1/00 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
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