薄膜磁头装置的制造方法和制造装置

摘要

本发明涉及一种薄膜磁头的制造方法和制造装置，可防止由静电引起的薄膜元件的破损。薄膜磁头装置将装有薄膜元件的滑块安装在弹性支承构件上，并设有与薄膜元件导通的导电引线，和覆盖导电引线的绝缘体构成的配线材料。薄膜磁头的制造方法包括如下工序：使配线材料的导电引线与固定在夹具上的滑块的薄膜元件连接的工序，将弹性支承构件与滑块接合的工序，将配线材料的基体端部上形成的台阶部分固定在夹具上的工序，和通过在配线材料的台阶部分检测薄膜元件的磁特性的工序中，将形成夹具的台阶部分的那一部分和/或固定滑块的部分，设置或固定在由表面电阻在1×10⁶欧姆/平方以上、1×10¹²欧姆/平方以下的半导电性材料制成的区域中。

主权项

1.一种薄膜磁头装置的制造方法，该薄膜磁头装置将装有薄膜元件的滑块安装在弹性支承构件上，并且上述薄膜元件与导电引线的一端导通，该导电引线由绝缘体覆盖配线材料而构成，其特征为，该方法包括：将导电引线的一端与上述薄膜元件连接的工序；将上述导电引线的另一端部与台阶部分导通，将形成有该台阶部分的部分固定在滑块夹具上的工序；对上述滑块夹具实施接地的工序；通过上述台阶部分检测薄膜元件磁特性的工序，上述滑块夹具由表面电阻在1×106欧姆/平方到1×1012欧姆/平方的半导电性材料制成的。