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发明名称 DISCHARGE RADIATION SOURCE, IN PARTICULAR UV RADIATION
摘要
申请公布号 EP1535307(A2) 申请公布日期 2005.06.01
申请号 EP20030761657 申请日期 2003.06.27
申请人 CENTRE NATIONAL DELA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS);UNIVERSITE D'ORLEANS 发明人 CACHONCINLLE, CHRISTOPHE;DUSSART, REMI;FLEURIER, CLAUDE;POUVESLE, JEAN-MICHEL;ROBERT, ERIC;VILADROSA, RAYMOND
分类号 G21K5/02;H01J61/52;H01J61/56;H01L21/027;H05H1/24;(IPC1-7):H01J61/56 主分类号 G21K5/02
代理机构 代理人
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