发明名称 METHOD FOR DEPOSITING FLUORINE-DOPED SILICATE GLASS IN SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR20050050196(A) 申请公布日期 2005.05.31
申请号 KR20030083883 申请日期 2003.11.25
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 KIM, RAE SUNG
分类号 (IPC1-7):H01L21/20 主分类号 (IPC1-7):H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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