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发明名称 METHOD FOR CLEANING DEPOSITION CHAMBERS FOR HIGH DIELECTRIC CONSTANT MATERIALS
摘要
申请公布号 KR20050050569(A) 申请公布日期 2005.05.31
申请号 KR20040096874 申请日期 2004.11.24
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 WU DINGJUN;JI BING;MOTIKA STEPHENANDREW;KARWACKI EUGENEJOSEPH JR.
分类号 C23C16/44;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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