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发明名称
WAFER CLEANING SYSTEM HAVING WAFER TRANSFER ROBOT
摘要
申请公布号
KR20050050413(A)
申请公布日期
2005.05.31
申请号
KR20030084143
申请日期
2003.11.25
申请人
SEMES CO., LTD.
发明人
BAE, JONG IL;AN, HYO JUN
分类号
(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
(IPC1-7):H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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