HIGH DENSITY PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS FOR GENERATING UNIFORM THIN FILM,申请号KR20030083905-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	HIGH DENSITY PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS FOR GENERATING UNIFORM THIN FILM
摘要
申请公布号	KR20050050209(A)	申请公布日期	2005.05.31
申请号	KR20030083905	申请日期	2003.11.25
申请人	JUSUNG ENGINEERING CO., LTD.	发明人	KANG, DAE BONG;LEE, JEONG BEOM;KIM, CHUL SIK
分类号	(IPC1-7):H01L21/203	主分类号	(IPC1-7):H01L21/203
代理机构		代理人
主权项
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