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发明名称 METHOD FOR FABRICATING BARRIER METAL OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050050336(A) 申请公布日期 2005.05.31
申请号 KR20030084046 申请日期 2003.11.25
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 JEON, DONG KI
分类号 (IPC1-7):H01L21/768 主分类号 (IPC1-7):H01L21/768
代理机构 代理人
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