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发明名称 SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS AND SUBSTRATE TREATMENT METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100492431(B1) 申请公布日期 2005.05.31
申请号 KR20010081489 申请日期 2001.12.20
申请人 发明人
分类号 G03F7/30;G03D5/00;G03F7/40;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):G03F7/30 主分类号 G03F7/30
代理机构 代理人
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