发明名称 |
STRUCTURE AND PROCESS FOR A CAPACITOR AND OTHER DEVICES |
摘要 |
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申请公布号 |
SG111102(A1) |
申请公布日期 |
2005.05.30 |
申请号 |
SG20030001433 |
申请日期 |
2003.03.20 |
申请人 |
CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD. |
发明人 |
CHIT HWEI NG;CHAW SING HO |
分类号 |
H01L21/02;H01L27/06;H01L27/08;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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