发明名称 STRUCTURE AND PROCESS FOR A CAPACITOR AND OTHER DEVICES
摘要
申请公布号 SG111102(A1) 申请公布日期 2005.05.30
申请号 SG20030001433 申请日期 2003.03.20
申请人 CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD. 发明人 CHIT HWEI NG;CHAW SING HO
分类号 H01L21/02;H01L27/06;H01L27/08;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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