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发明名称 IMAGE COMPENSATION DEVICE FOR A SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 SG111126(A1) 申请公布日期 2005.05.30
申请号 SG20030004025 申请日期 2003.07.11
申请人 CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD. 发明人 KEVIN CHAN EE PENG;YELEHANKA RAMACHANDRAMURTHY PRADEEP;CHUA THOW PHOCK
分类号 H01J37/16;H01J37/09;(IPC1-7):G01N23/00 主分类号 H01J37/16
代理机构 代理人
主权项
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