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发明名称 TEMPERATURE HUMIDITY CONTROLLER OF SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050049724(A) 申请公布日期 2005.05.27
申请号 KR20030083434 申请日期 2003.11.24
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, JONG HAW
分类号 (IPC1-7):H01L21/00 主分类号 (IPC1-7):H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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