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发明名称
METHOD OF ESTIMATING CONTAMINATION DEGREE OF CLEAN ROOM USING DEIONIZED WATER
摘要
申请公布号
KR100475460(B1)
申请公布日期
2005.05.27
申请号
KR19980003255
申请日期
1998.02.05
申请人
发明人
分类号
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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